C'est au printemps de l'année 1794 que Robespierre essaya de réaliser, par la fête et le culte de l'Etre suprême, les théories néo-chrétiennes de son maître Jean-Jacques Rousseau qui, dans le Vicaire savoyard, avait fondé sa religion sur la croyance en Dieu et en l'immortalité de l'âme et, dans le contrat social, avait présenté ces dogmes comme indispensables pour être bon citoyen ou sujet fidèle. C'était là, selon Rousseau, une « profession de foi purement civile » et non pas une religion nationale exclusive : mais il ajoutait aussitôt (Contrat social, chap. VIII) :

« Sans pouvoir obliger personne à les croire [ces dogmes], le souverain peut bannir de l'Etat quiconque ne les croit pas : il peut les bannir, non comme impies, mais comme insociables. » 

Aussi la religion que Robespierre chercha à établir, en épurant et en simplifiant le christianisme, fut-elle une véritable religion d'Etat, exclusive et intolérante. Déjà le 1^er frimaire an II, du haut de la tribune des Jacobins transformée en chaire, il avait lancé l'anathème à l'athéisme, c.-à-d. au mouvement hébertiste du culte de la Raison et à la tentative de déchristianisation violente, qui avait été provoquée beaucoup moins par des vues philosophiques que par la nécessité de combattre le clergé uni aux émigrés et à l'étranger contre la Révolution. Comme ce culte de la Raison était généralement déiste, Robespierre n'eut pas à heurter de front l'opinion pour faire réussir la réaction qu'il méditait. Quand l'échafaud l'eut délivré, d'abord du voltairien Hébert, puis de son rival Danton, qui n'avait adhéré au projet de culte de l'Etre suprême que du bout des lèvres et comme à un expédient de défense nationale, il fit annoncer à la Convention par son, ami Couthon (17 germinal) le projet d'un culte national de l'Etre suprême. Le 18 floréal, lui-même vint lire à la Convention son grand rapport sur les idées religieuses et morales, dans lequel il insistait habilement sur la nécessité de rassurer l'Europe effrayée et scandalisée par le mouvement de déchristianisation, et, par un décret rendu séance tenante, le peuple français « reconnut l'existence de l'Etre suprême et l'immortalité de l'âme ». 

La première fête en l'honneur de l'Etre suprême fut fixée au 20 prairial suivant (8 juin 1794). Un arrêté du comité de Salut public du 23 floréal débaptisa les temples de la Raison en temples de l'Etre suprême et ordonna que, pendant un mois, le rapport et le décret du 18 y seraient lus publiquement chaque décadi. Par ses discours et ses réquisitoires, l'agent national de la Commune, Payan, contribua à préparer l'opinion parisienne au nouveau culte, et d'innombrables adhésions arrivèrent, de tous les points de la France, à la Convention.

La fête du 20 prairial, dont le plan avait été réglé minutieusement par David, eut lieu par un temps radieux. La veille au soir, toutes les maisons, riches et pauvres, avaient été ornées, d'une manière uniforme, de branches d'arbres, de fleurs, de drapeaux tricolores. Au Champ de Mars, appelé Champ de la Réunion, on avait élevé une montagne avec rochers, grottes et ronces. Au jardin des Tuileries, sur l'emplacement du bassin, on voyait une statue colossale de l'athéisme, avec cette inscription : Seul espoir de l'étranger. A midi, toutes les sections, les autorités et le peuple sont réunis devant les Tuileries et les yeux se tournent vers le balcon du pavillon de l'Unité par où la Convention doit paraître pour se rendre sur un amphithéâtre en planches. Vers une heure les conventionnels font leur entrée, revêtus du costume des représentants en mission et ayant à leur tête leur président de quinzaine, Robespierre, en habit bleu barbeau et en culotte de nankin. Il tient à la main, comme chacun de ses collègues, un bouquet d'épis de blé, de fleurs et de fruits. II prononce un discours assez bref, on entend un hymne de Désorgues : Père de l'univers, suprême intelligence, exécuté par les artistes de l'Opéra. Robespierre prend une torche et met le feu à la statue de l'athéisme qui, en disparaissant, laisse voir une statue de la Sagesse, « montrant du doigt le séjour de l'Etre suprême », et l'orateur prononce un second discours. Ses paroles, empreintes des idées de Rousseau, furent fort admirées et lui valurent les éloges enthousiastes de Boissy d'Anglas et de La Harpe. Le cortège se mit ensuite en route pour le Champ de Mars, où la cérémonie s'acheva en grande pompe. Pendant le trajet, Robespierre marcha en tête, à quelques pas en avant du cortège. Il eut l'air d'un grand pontife, d'un dictateur, et quelques-uns de ses collègues, futurs thermidoriens, l'apostrophèrent à ce propos en termes injurieux.
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Fête de l'Être suprême au Champ de Mars (8 juin 1794).
Tableau de Pierre-Antoine Demachy.

Le culte de l'Etre suprême eut lieu avec éclat dans tous les départements, mais il ne fut presque partout que la continuation du culte de la Raison, avec d'autres formules. Malgré Robespierre, le mouvement de déchristianisation continua, et on ne put obtenir l'uniformité orthodoxe dans la célébration de la religion décrétée. Cette religion eut beau se montrer intolérante et sanguinaire (Chaumette et Gobel furent envoyés à l'échafaud comme impies), elle ne put triompher ni de la philosophie ni du christianisme. Le peuple, amusé d'abord par des cérémonies brillantes et nouvelles, resta indifférent, et le culte de l'Etre suprême ne fut presque partout que celui des fonctionnaires et d'une partie de la bourgeoisie. La Convention, la comité de Salut public et surtout le comité de Sûreté générale ne prirent pas ce culte au sérieux. II fut un des griefs des thermidoriens contre Robespierre. Quand celui-ci eut disparu de la scène politique, le culte de I'Etre suprême, qui déjà s'était confondu avec le culte de la patrie, tomba presque dans l'oubli. La Convention le supprima en quelque sorte par omission, quand elle rendit le décret du 3 brumaire au IV qui établissait sept fêtes nationales, parmi lesquelles il n'y avait pas de fête de l'Etre suprême.  (F.-A. Aulard).